技术参数 | Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2 Pa、Pp、Pv、Pt、Pz、Pq、Psk、Pku、Pc、PSm、Pmr(c)、Pmr、Pz1max、PzJIS、Pδc、P△q | ||
传感器 | 测量原理 | 电感式 | |
测量范围 | 400μm | ||
针尖半径 | 5μm | ||
针尖材料 | 金刚石 | ||
触针测力 | 4mN | ||
触针角度 | 90° | ||
导头纵向半径 | 45mm | ||
大驱动行程 | 19mm | ||
量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 | |
±25μm | 0.001μm | ||
±200μm | 0.008μm | ||
滤波方式 | GAUSS、2RC、ISO13565 | ||
取样长度 | 0.25mm、0.8mm、2.5mm、自动 | ||
评定长度 | 1L~5L(可选,L为取样长度) | ||
示值误差 | ±10% | ||
示值重复性 | ≤6% | ||
工作环境 | 温度:0ºC~40ºC 相对湿度:<90%RH | ||
外型尺寸及重量 | 主机:155.4mm×75mm×53mm,约580g; 驱动器:120.5mm×25.5mm×28.5mm,约165g | ||
电源 | 内置电池:锂离子充电电池; 电源适配器:输入:100V240VAC,50/60Hz; 输出:9V,3A。 |